1. Phương pháp chấm màu: Phủ đều bột chì đỏ lên bề mặt cần đo. Sau khi chà xát lên tấm tiêu chuẩn, các đốm sáng sẽ xuất hiện. Trong khu vực 25 mm × 25 mm, nếu các điểm phân bố đều và nhiều (ví dụ: Lớn hơn hoặc bằng 20 điểm) thì độ phẳng có thể chấp nhận được. Phương pháp này phù hợp để đo thô nhanh nhưng có độ chính xác thấp hơn.
2. Phương pháp giao thoa quang phẳng: Nhấn một mặt phẳng quang (độ phẳng<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Rìa hình khuyên: Giá trị lỗi=số vân × λ/2 (λ là bước sóng ánh sáng).
Viền thẳng: Giá trị lỗi=độ cong × khoảng cách rìa/2.
Phương pháp này đạt được độ chính xác ở cấp độ nanomet-và phù hợp để kiểm tra-mặt phẳng nhỏ.
3. Phương pháp chỉ báo: Sử dụng tấm tiêu chuẩn làm tài liệu tham khảo, đo từng điểm trên bề mặt bằng micromet. Nếu sử dụng phương pháp ba{2}}điểm để điều chỉnh thì chênh lệch giữa số đọc tối đa và tối thiểu là giá trị lỗi; phương pháp vùng tối thiểu yêu cầu tính toán toán học. Nó mang lại độ chính xác cao nhưng vận hành cồng kềnh.
4. Phương pháp ống chuẩn trực/mức: Các phép đo được thực hiện tại các điểm được sắp xếp trong lưới và độ lệch của từng điểm so với tham chiếu được ghi lại. Sai số độ phẳng được tính bằng phương pháp bình phương tối thiểu hoặc phương pháp vùng giới hạn tối thiểu. Thích hợp cho việc kiểm tra-khu vực rộng lớn nhưng yêu cầu môi trường ổn định.
