1. Dụng cụ làm sạch và khử nhiễm
Thiết bị làm sạch bằng plasma: Dùng để loại bỏ oxit, dấu vân tay hoặc cặn bám trên bề mặt của các lỗ định vị, đảm bảo độ sạch bề mặt đáp ứng các yêu cầu về độ chính xác-cao.
Cồn isopropyl: Dùng để lau bề mặt các lỗ định vị, hỗ trợ quá trình vệ sinh.
2. Công cụ bảo vệ và xử lý
Găng tay chống{0}}tĩnh điện: Đeo trong khi vận hành để ngăn tĩnh điện làm hỏng các bộ phận chính xác.
3. Dụng cụ phủ thông lượng
Dụng cụ phủ huỳnh quang: Bao gồm vòi phun tiếp xúc hoặc thiết bị phun-không tiếp xúc, dùng để phun đều chất trợ dung lên bề mặt của các lỗ định vị. Vòi phun tiếp xúc cho phép kiểm soát chính xác lượng phun, trong khi vòi phun không tiếp xúc phù hợp với các trường hợp có độ chính xác cao.
4. Các công cụ phụ trợ khác
Dụng cụ đo chính xác: Chẳng hạn như micromet hoặc thiết bị kiểm tra quang học, dùng để kiểm tra độ chính xác về kích thước và độ nhám bề mặt của các lỗ định vị.
