I. Xác minh độ chính xác cơ bản
1. Repeatability Test: Measure 20 times consecutively using a standard part. The repeatability accuracy should be ≤0.8μm (≤0.3μm for high-precision models). If the standard deviation is >1,2μm, cần phải hiệu chuẩn.
2. Systematic Error Detection: Measure standard parts of different sizes (e.g., 10mm, 50mm, 100mm). If the deviation is consistently >±2,5μm, cần phải bù.
3. Xác minh độ chính xác hình học:
Guide rail straightness: Error per meter >2μm
Worktable flatness: Full stroke error >3μm
Three-axis perpendicularity: Angular error >5 giây cung.
II. Đánh giá hệ thống thăm dò
Calibration ball diameter consistency: If the measurement difference in different directions by the same probe is >0.8μm or the roundness error is >0,5μm, cần phải hiệu chuẩn lại.
Multi-probe consistency: If the deviation of each probe measuring the same dimension is >2μm, mối quan hệ đầu dò cần hiệu chỉnh.
III. Kiểm tra nhiệt độ và bảo trì
Độ ổn định nhiệt độ: Thay đổi nhiệt độ môi trường xung quanh > ± 0,5 độ có thể ảnh hưởng đến độ chính xác.
Bảo trì hàng ngày: Thường xuyên làm sạch và kiểm tra độ mòn của các lỗ định vị (chẳng hạn như kích thước tăng lên hoặc biến dạng); sửa chữa hoặc thay thế là cần thiết trong trường hợp nghiêm trọng.
